プロセス制御と検証
生産工程において印加圧力、アライメント、平面度の信頼性を必要とする製造エンジニア向けのXSENSORの工業用センサは最も正確な圧力プロファイルを提供します。
不正確な品質保証テストはコストがかかり、ビジネスや生産性の低下を招き、最悪の場合、大きな責任問題を引き起こす可能性があります。
ウエハーポリッシュのような製品用途では、均一な圧力を確認することが生産歩留まりの鍵となります。また、ニップローラーやピンチローラーに依存する製品を製造している場合は、その重量が均一に分散されていることを確認することが生産基準を維持する上で重要です。
概要
半導体加工
半導体の加工不良をなくす。
シリコンウェーハの研磨装置が均一な圧力をかけていることを確認し、わずかな欠陥でもウェーハを損なうことのないようにします。
当社の高精度、高解像度のLXセンサーを使用して、研磨ヘッドの圧力プロファイルを評価することができます。これは、装置が一度に数ミクロンを除去するように設計されているウェーハ研磨アプリケーションにおいて、特に重要です。
01
INLINeの品質保証
製造プロセスにおけるインライン品質の最大化。
自動化された試験手順に圧力センサを使用して、インラインでの品質保証試験を行う
材料が性能や製造上の欠陥に関する許容パラメータを満たしているかどうかを検証する
シート構造、フォーム、ガスケット素材など、製品の表面圧力を試験する。
02
表面適合性測定
ニップローラーとピンチローラーのアライメントを維持する。
ニップロールとピンチロール間の圧力分布を検証します。
ニップローラーセンサーを使えば、ローラーのバランスを崩すことなく、圧力分布を測定することができます。
独自の菱形デザインを採用することで、センシングエレメントを最大限に活用し、測定時の電子ノイズを排除することで、ニップフットプリントを最も正確に可視化します。
03
仕様と性能
XSENSORの工程管理・検証用センサは、製品や工程のインターフェースの特性を把握するための正確で再現性のある測定を提供します。
速い応答時間、最小のドリフトとヒステリシスにより、インライン品質保証テストで一貫した測定を実現します。安定した校正により、再校正することなく、いつでもセンサーを使用することができます。
迅速なセットアップと、測定値の分かりやすいグラフ表示とビジュアル表示により、貴重な生産時間とセットアップ時間を節約できます。
高精度で再現性のある圧力センサーは、±5％の精度で測定し、再校正することなく数千サイクルにわたって正確な測定値を維持します。
1.2mm×1.2mmの高空間分解能により、表面の微細な凹凸を圧力で再現します。
速いセンサー応答と0.01psiのセンサー分解能により、界面圧力のわずかな変化も確実に捉えます。
LXセンサーは1mm以下の超薄型で、輪郭のある面を正確に測定することができます。
産業用途のニーズに合わせて、カスタムメイドのカバー材をご用意しています。
包括的なソフトウェア・ツールキットで、解析や直接データ収集が可能。
プロセス制御と検証
センサー
分解能 mm (In)
使用例
圧力 RANGE
N/cm2 (psi)
センシングエリア
cm x cm (In x In)
LX100:100.100.10
2.54 (0.1)
ウェーハの研磨
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.87)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
LX100:100.100.10
2.54 (0.1)
ガスケットシール
0.14 - 10.34
(0.2 - 15)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
LX205:64.128.10
2.54 (0.1)
ミディアムスプレーの圧力
0.07 - 10.3
(0.1 - 15)
16 x 32
(6.3 x 12.6)
LX100:50.50.05
5.08 (0.2)
低圧スプレー
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
IX510:128.128.05
5.08 (0.2)
High-Spray Pressure
3.4 - 207
(5 - 300)
25.6 x 25.6
(10.1 x 10.1)
IX510.31.96.40-04
0.64 x 6.4
(0.025 x 0.25)
ニップローラー
0.7 - 88.3
(1 - 128)
2 x 61
(0.8 x 24)
PX100:10.160.10-05
2.54 x 5.08
(0.1 x 0.2)
ウィンドシールドワイパー
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)
2.54 x 81.3
(1 x 32)
IX510:18.45.08
3.18 (0.125)
ブレーキパッド
6.9 - 353
(10 - 512)
57.2 x 14.3
(22.5 x 5.6)
フォローする
